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国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 吴江市华宇净化设备有限公司中国标准化协会等

目录

基础信息

计划号
20213384-T-469
制修订
修订
项目周期
12个月
下达日期
2021-08-24
公示开始日期
2021-06-11
公示截止日期
2021-06-25
标准类别
方法
国际标准分类号
13.040.35
13 环保、保健和安全
13.040 空气质量
13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-3:2019。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法。

目的意义

洁净室及相关受控环境是将污染物控制在合适的水平,以便完成对污染敏感的工作。

航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。

洁净室的分级、建造、检测、应用是系统性工程,目的是应用,检测是对洁净室工程建设和使用过程中是否达到要求的证明。

随着洁净室应用的日益广泛,相关高新技术的发展对工作环境的要求越来越高,对洁净室及相关受控环境的检测要求越来越高。

GB/T25915.3《洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法》国家标准等同采用的ISO14644-3国际标准为各方发展需要进行了修订并于2019年发布。

随着我国经济持续发展,技术水平不断提高,我国洁净室及相关受控环境处于快速发展阶段,我国的洁净室使用和在建面积均是世界首位,对洁净室及相关受控环境的检测要求日益提高。

修订该国家标准迫在眉睫。

范围和主要技术内容

本标准使用与洁净室和洁净区操作的检测,主要技术内容是测试规程和测试报告的要求。本次修订调整内容如下: a) 第3章术语和定义 ——修改术语“离散粒子计数器”为“光散射离散粒子计数器”(见3.6.4,2010年版3.6.8);——增加了“受控环境”(见3.1.3)“分辨率”(见3.1.6)“灵敏度”(见3.1.7)和“配有流量计的风量罩” (见3.6.3); ——删除了“大粒子”(见2010年版3.2.4)“M描述符”(见2010年版3.2.5)“U描述符”(见2010年版3.2.11)“超微粒子”(见2010年版3.2.12)“标准渗漏透过率”(见2010年版3.3.10)“平均风量”(见2010年版3.4.2)“非等动力采样”(见2010年版3.6.2)“串级撞击采样器”(见2010年版3.6.3)“凝聚核计数器”(见2010年版3.6.4)“计数效率”(见2010年版3.6.5)“微分迁移率分析仪”(见2010年版3.6.6)“扩散元件”(见2010年版3.6.7)“伪计数”(见2010年版3.6.9)“风量罩”(见2010年版3.6.10)“同轴采样”(见2010年版3.6.11)“等动力采样”(见2010年版3.6.12)“粒径限制器”(见2010年版3.6.13)“阈值粒径”(见2010年版3.6.14)“飞行时间粒径测量”(见2010年版3.6.15)和“虚拟撞击器”(见2010年版3.6.16); b) 更改了“必测项目”为“一般检测”,并更新了具体内容(见4.1.1,2010年版4.1.1); c) 更改了“可选检测项目”为“支持性检测”,并更新了检测项目(见表2,2010年版表2); d) 更改了空气压差检测(见4.2.1,2010年版4.2.3)、气流检测(见4.2.2,2010年版4.2.2)、气流方向检测与显形检查(见4.2.3,2010年版4.2.5)、温度与湿度均匀性检测(见4.2.4,2010年版4.2.6)、已装过滤系统检漏(见4.2.7,2010年版4.2.4)、隔离检漏(见4.2.8,2010年版4.2.10)、静电和离子发生器检测(见4.2.9,2010年版4.2.7)、粒子沉降检测(见4.2.10,2010年版4.2.8); e) 增加了温度检测(见4.2.5)、湿度检测(见4.2.6)、偏析检测(见4.2.11); f) 删除了空气悬浮粒子计数(见2010年版4.2.1)、自净检测(见2010年版4.2.9); g) 删除了检测规程清单中的“属于洁净度分级和常规检测的空气悬浮粒子计数”“空气超微粒子计数”“空气大粒子计数”三个大项(见表A.1,2010年版表A.1); h) 更改了检测规程清单中的“压差”“气流”“气流方向与显形检查”“自净”“温度”“湿度”“已装过滤器检漏”“隔离检漏”“静电和离子发生器”“粒子沉降”10个大项(见表A.1,2010年版表A.1); i) 增加了“偏析检测”(见表A.1); j) 增加了“检测和验证计划”(见A.3); k) 删除了原附录B中“属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数”“空气超微粒子计数”“空气大粒子计数”“气流方向检测和显形检查”等检测方法; l) 更改了气流检测、自净检测、已装过滤器系统检漏、粒子沉降检测的检测方法(见附录B,2010年版附录B); m) 删除了原附录C中“空气悬浮粒子计数”“超微粒子计数”和“大粒子计数”(见2010年版附录C); n) 更改了气流检测、空气压差检测、已装过滤系统的检漏、气流方向检测和显形检查、温度检测、湿度检测、静电和离子发生器检测、粒子沉降检测、自净检测、隔离检漏(见附录C,2010年版附录C)。