国家标准计划《蓝宝石图形化衬底片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 广东中图半导体科技股份有限公司 、云南蓝晶科技有限公司 、华灿光电(义乌)有限公司 。
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
本标准规定了蓝宝石图形化衬底片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件等内容。 产品按衬底片尺寸分为2、4、6英寸蓝宝石图形化衬底,其主要技术要求包括衬底片的直径、厚度、衬底图形排布、衬底图形尺寸参数、衬底图形均匀性、衬底有效图形区域、外观、反射率等。具体见标准草案。 本标准适用于蓝宝石图形化衬底片,产品主要用于氮化镓基材料外延生长的基板材料,可显著提升发光二极管的光电性能,同时作为功率、射频器件用的基板材料,提高产品品质,降低生产制造成本。