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国家标准计划《蓝宝石图形化衬底片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 广东中图半导体科技股份有限公司云南蓝晶科技有限公司华灿光电(义乌)有限公司

目录

基础信息

计划号
20213239-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2021-08-24
公示开始日期
2021-05-18
公示截止日期
2021-06-01
标准类别
产品
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

范围和主要技术内容

本标准规定了蓝宝石图形化衬底片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件等内容。 产品按衬底片尺寸分为2、4、6英寸蓝宝石图形化衬底,其主要技术要求包括衬底片的直径、厚度、衬底图形排布、衬底图形尺寸参数、衬底图形均匀性、衬底有效图形区域、外观、反射率等。具体见标准草案。 本标准适用于蓝宝石图形化衬底片,产品主要用于氮化镓基材料外延生长的基板材料,可显著提升发光二极管的光电性能,同时作为功率、射频器件用的基板材料,提高产品品质,降低生产制造成本。