国家标准计划《平板显示器基板玻璃应力双折射试验方法 点扫描法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 蚌埠中光电科技有限公司 、中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 。

本标准的目的主要是制定平板显示器用大尺寸超薄玻璃的应力双折射试验方法，解决当前高世代基板玻璃微应力双折射检测问题。

本方法适用产品重点在于高世代基板玻璃等电子信息用超薄玻璃，也适用于特种功能材料等领域。

本方法属于共性技术、通用性强，对新一代信息技术领域短板材料突破，保障国产高世代基板玻璃量产突破、大规模应用和不断迭代创新，以及实现新材料标准军民通用化水平的提升等有重要意义。

随着我国大规模液晶显示、集成电路、航天、激光核技术等领域的深入发展，要求其光学系统和相关器件逐步向高分辨率、高稳定、高精度和高可靠等方向发展。

几乎所有已知的材料均存在残余应力，应力的存在不仅使其产生双折射现象，而且会导致已加工好的光学元件面型发生“蠕变”，严重影响其成像质量。

高端超薄玻璃作为上述高端应用领域光学成像系统等不可或缺的关键光学材料和制品，其应力双折射值相对较低（根据不同应用要求通常为0.1~25nm/cm）属于极其微弱应力。

例如，随着高端显示电子玻璃的广泛应用，为满足显示面板制程要求，对玻璃应力有苛刻的要求，要求整板应力≤25nm/cm，并且要求呈现应力分布情况；应力的准确测量对产线工艺具有明确的指导意义，及时反馈产线进行热端工艺调整；应力范围的精密控制有利于提高加工操作精度，提升产线品质质量。

因此测量玻璃的应力成为控制玻璃质量的一种手段，玻璃应力的检测显得尤为重要。

此外，大规模集成电路、航天、激光核技术等领域要求其光学系统用石英玻璃应力双折射值小于5nm/cm，并且均匀分布，保证其性能的稳定性和可靠性，而且厚度也趋于超薄化。

此外，现有相关标准内容无法满足超薄玻璃产品微应力的检测要求。

不仅无法有效保证应用单位对其可靠性检测与评价，而且无法精确指导生产单位进一步改进与优化生产工艺。

为了满足市场需求，规范玻璃产品的技术测试方法，为市场进入良性发展轨道起到积极的推动作用，特制订超薄玻璃应力的精确测试方法的国家标准。

本标准的目的与意义为：1）提供目前最高水平双折射灵敏度和精度重复性的方法；2）提供兆帕级应力双折射精密测试；3）可以提供实时在线整板应力检测；4）进一步完善我国超薄玻璃微应力的检测标准。

范围：本标准旨在建立统一的超薄玻璃应力双折射的试验方法，其他可透过632.8nm光波的玻璃、透明陶瓷和塑料等透明材料也可参考使用。 主要技术内容：本标准规定了超薄玻璃应力双折射试验方法的原理、仪器设备、试样制备、测试步骤和数据处理等。