国家标准《水平法砷化镓单晶及切割片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研光电新材料有限责任公司 、有色金属技术经济研究院 、广东先导先进材料股份有限公司 、北京聚睿众邦科技有限公司 、雅波拓（福建）新材料有限公司 。

主要起草人 于洪国 、林泉 、马英俊 、赵敬平 、李素青 、马远飞 、李万朋 、许所成 、权盼 、朱刘 、周铁军 、闫方亮 、杨丽霞 、付萍 。