国家标准计划《集成电路封装关键设备运维 运行状态监测》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第二研究所 、扬州国宇电子有限公司 、同济大学 、中国电子科技集团公司第三十八研究所 。

目前我国正处在集成电路产业发展的关键时刻，国外高端集成电路设备对我国仍采取技术封锁与限制。

集成电路封装关键设备作为高速高精度（微米级以上）光机电一体化的复杂电子制造装备，维护难度大、成本高。

目前国产集成电路封装关键设备主要采用定期维护或事后维修方法，尚未形成统一的运维技术标准，使设备制造商无法实时获取设备用户现场大量的运行状态等数据，无法为客户提供及时的运维服务，并难以根据设备故障及时优化产品设计和升级换代。

目前国内集成电路产业发展处于关键时刻，国外高端集成电路设备对我国仍采取技术封锁与限制，我国集成电路封装关键设备运行状态监测技术面临诸多的困难和问题，主要表现在如下几方面： 1）集成电路封装关键设备监测的形式呈现多样化，数据格式不统一、无规范输出接口，数据通用性、复用性差。

2）集成电路封装关键设备运行状态监测系统缺乏故障诊断、预测性维护等功能，还不能够真实反应设备健康状况。

3）集成电路封装关键设备状态监测系统缺乏业务数据挖掘手段和业务数据及实时数据应用方法，亟需远程运维模式下的大数据管理、挖掘平台支持。

综上所述，为有效提升国产集成电路封装关键设备全行业的设计制造和产品服务能力，针对国产集成电路封装关键设备远程运维技术的发展需求，解决高速打孔机、电路印刷机、引线键合机和砂轮划切机等集成电路封装关键设备生产现场数据采集的及时性、完整性和规范性的问题，实时监控设备运行状态和异常情况，实现设备运行状态透明化，通过设备远程诊断与主动式预测性维护，为设备的健康、经济、高效运行提供保障，开展集成电路封装关键设备运行状态监测标准的研究制定已迫在眉睫。

《集成电路封装关键设备运维 运行状态监测》（以下简称本标准）适用于集成电路封装关键设备远程运维的设备状态监测、关键部件监测、故障报警监测、维护维修监测、设备效能监测等过程，为其运行状态监测提供理论指导和实践依据。其他电子元器件生产制造设备的运维的运行状态监测也可参考采用。 本标准主要对集成电路封装关键设备远程运维运行状态监测功能、设备状态远程监测、设备故障报警远程监测、设备关键部件远程监测、设备维护维修远程监测、设备效能远程监测等要求等进行规定。