国家标准计划《集成电路封装关键设备运维 运行状态监测》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第二研究所 、扬州国宇电子有限公司 、同济大学 、中国电子科技集团公司第三十八研究所 。

《集成电路封装关键设备运维 运行状态监测》（以下简称本标准）适用于集成电路封装关键设备远程运维的设备状态监测、关键部件监测、故障报警监测、维护维修监测、设备效能监测等过程，为其运行状态监测提供理论指导和实践依据。其他电子元器件生产制造设备的运维的运行状态监测也可参考采用。 本标准主要对集成电路封装关键设备远程运维运行状态监测功能、设备状态远程监测、设备故障报警远程监测、设备关键部件远程监测、设备维护维修远程监测、设备效能远程监测等要求等进行规定。