国家标准项目《真空技术—真空计—热阴极电离真空计的规范》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一〇研究所 。
| 23 流体系统和通用件 |
| 23.160 真空技术 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 27894:2009。
采标中文名称:真空技术—真空计—热阴极电离真空计的规范。
本标准规定了热阴极电离真空计的术语,并规定了热阴极电离真空计的制造商应给出的参数以及在使用这些真空计时应该考虑的测量不确定度。 a) 本标准更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。 b) 本标准为适用实验室指定了信息以便在高真空和超高真空下正确校准真空计,因为热阴极电离真空计通常用作参考标准。该信息由制造商给使用电离真空计进行高真空和超高真空下可溯源的压力测量的用户的说明书中引用的相关参数和特性组成。 c) 本标准还列出了与电离真空计测量压力有关的不确定度,众所周知这很重要,同时给出了如何评估这些不确定度的指南。对于某些当前或未来的真空计来说,该清单可能并不全面。 d) 将电离真空计用作参考标准时,本标准是对ISO/TS 3567 和 ISO/TS 27893的补充。