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国家标准计划《蓝宝石单晶晶棒》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司天通控股股份有限公司内蒙古晶环电子材料有限公司

目录

基础信息

计划号
20204894-T-469
制修订
修订
项目周期
18个月
下达日期
2020-12-24
公示开始日期
2020-08-17
公示截止日期
2020-08-31
标准类别
产品
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

目的意义

为适应新一轮新材料技术和产业快速变革的发展态势,《新材料产业发展指南》中四、重点任务的第(六)条完善新材料产业标准体系明确指出了“加快蓝宝石晶体及衬底材料、大尺寸蓝宝石晶体生长、质量检验系列标准制定”。

加快完善蓝宝石材料的产业标准制定和修改,以实现产品生产标准化、工艺技术规范化、管理体系系统化为目的,将推动建立完善的产业标准。

近年来随着产业技术和市场的发展,蓝宝石(Al2O3)晶体材料在LED行业得到大幅提升,生产规格由2英寸逐渐向4英寸、6英寸方向升级;同时在摄像及指纹识别、视窗面板等消费电子领域的应用需求逐年增加,但对蓝宝石晶体材料的品质和成本的要求也在逐渐提高。

通过对该标准中相关的技术指标及相关条款的修订,可推动蓝宝石晶体材料向低成本、高品质方向发展,提高蓝宝石单晶生产工艺的标准化,为蓝宝石单晶产品的改进明确方向,使产业快速高效健康发展,同时可为拓宽蓝宝石晶体材料的应用市场打下基础。

范围和主要技术内容

本标准适用于蓝宝石单晶晶棒的物理性能(半峰宽、透过率、晶向)指标、宏观(崩边、缺角、气泡、散点)和微观(位错、孪晶)缺陷指标、纯度指标和外观质量的确定。 本次主要修订内容如下: 1、原标准名称与标准实际内容有出入,因此修改标准名称,由“蓝宝石单晶晶锭”修改为“蓝宝石单晶晶棒”。 2、标准的适用范围进行修改,由“产品可用于制造氮化镓外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料”修改为:“产品可用于制造氮化镓外延薄膜以及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料和光学用途的其他蓝宝石单晶材料”。 3、修订4.2 结晶质量评价指标进行: 1)位错密度由“应小于104个/cm2”修改为“应小于1000个/cm2”; 2)双晶摇摆曲线的半峰宽(FWHM)值由“应小于30arcec”修改为“应小于15arcec”; 4、在要求4.5尺寸及允许偏差评价指标中增加块料的尺寸及允许偏差; 5、把要求4.7透过率评价指标由“晶锭在410nm~780nm波段的透光率应达到85%以上”修改为“在300nm~800nm波长范围,透过率应不低于80%,透过率曲线应平滑、无吸收峰(测试样品:1mm厚的双抛晶片)”; 6、建议对性能产品指标的检验方法进行修订: 1)“5.2 晶锭位错密度的检验按照附录B的规定进行”修改为“晶棒位错密度的检验按照GB/T33763规定进行”; 2)“5.3 晶锭双晶摇摆曲线的半峰宽值(FWHM)的检验按照附录C的规定进行”修改为“晶棒双晶摇摆曲线的半峰宽值(FWHM)的检验按照GB/T 34612规定进行”; 3)“5.4 晶锭的表面取向和参考面取向的检验按GB/T 1555的规定进行”修改为“晶棒的表面取向和参考面取向的检验按照GB/T 34210规定进行”; 4)“5.8 晶锭镶嵌、孪晶的检验按照附录E的规定进行”修改为“晶棒镶嵌、孪晶的检验按照GB/T 31093规定进行”。