国家标准计划《蓝宝石单晶晶棒》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司 、天通控股股份有限公司 、内蒙古晶环电子材料有限公司 。

本标准适用于蓝宝石单晶晶棒的物理性能（半峰宽、透过率、晶向）指标、宏观（崩边、缺角、气泡、散点）和微观（位错、孪晶）缺陷指标、纯度指标和外观质量的确定。 本次主要修订内容如下： 1、原标准名称与标准实际内容有出入，因此修改标准名称，由“蓝宝石单晶晶锭”修改为“蓝宝石单晶晶棒”。 2、标准的适用范围进行修改，由“产品可用于制造氮化镓外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料”修改为：“产品可用于制造氮化镓外延薄膜以及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料和光学用途的其他蓝宝石单晶材料”。 3、修订4.2 结晶质量评价指标进行： 1)位错密度由“应小于104个/cm2”修改为“应小于1000个/cm2”； 2)双晶摇摆曲线的半峰宽（FWHM）值由“应小于30arcec”修改为“应小于15arcec”； 4、在要求4.5尺寸及允许偏差评价指标中增加块料的尺寸及允许偏差； 5、把要求4.7透过率评价指标由“晶锭在410nm～780nm波段的透光率应达到85%以上”修改为“在300nm～800nm波长范围，透过率应不低于80%，透过率曲线应平滑、无吸收峰（测试样品：1mm厚的双抛晶片）”； 6、建议对性能产品指标的检验方法进行修订： 1）“5.2 晶锭位错密度的检验按照附录B的规定进行”修改为“晶棒位错密度的检验按照GB/T33763规定进行”； 2）“5.3 晶锭双晶摇摆曲线的半峰宽值（FWHM）的检验按照附录C的规定进行”修改为“晶棒双晶摇摆曲线的半峰宽值（FWHM）的检验按照GB/T 34612规定进行”； 3）“5.4 晶锭的表面取向和参考面取向的检验按GB/T 1555的规定进行”修改为“晶棒的表面取向和参考面取向的检验按照GB/T 34210规定进行”； 4）“5.8 晶锭镶嵌、孪晶的检验按照附录E的规定进行”修改为“晶棒镶嵌、孪晶的检验按照GB/T 31093规定进行”。