国家标准计划《产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微术）式仪器的标称特性》由 TC240（全国产品几何技术规范标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 清华大学 、中机生产力促进中心等 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 25178-603:2013。

采标中文名称:产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微术）式仪器的标称特性。

随着我国“一带一路”大战略和“制造强国”计划的实施，产品质量是中国制造水平的最直观最直接的体现。

当前，科技的发展为产品几何技术规范中表面结构的测量和表征提供了越来越多的手段，适用范围也在逐渐拓展。

原有的表示方法及相关标准已不能很好满足产品制造过程中的表面质量控制要求。

ISO 25178系列标准对国内利用区域法描述产品表面质量控制要求具有非常重要的指导意义。

过去由于实施该系列标准的配套条件尚未成熟，没有进行国标转化。

2018年项目起草单位通过国家质量专项建设相关技术基础，同步进行标准转化，对推进产品表面结构质量控制的标准化推广具有非常重要的意义。

本部标准内容旨在描述相移干涉测量方法进行轮廓和区域表面结构显微测量的术语、方法及其计量特性等。 主要技术内容包括：与区域表面结构测量方法、扫描系统、光学系统、工件光学特性和相移干涉术相关的术语和定义；相移干涉测量影响量的描述。以及相应的相移干涉显微测量系统的部件、操作原理、测量误差及其校正方法等。