国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》 由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中车信息技术有限公司 、清华大学 、北京机械工业自动化研究所有限公司 、中国石油规划总院 。

主要起草人 顾明 、程嘉 、李丽 、季林红 、陈莉 、曹自立 、张颖 、黎晓东 、王海丹 、王峰 。