国家标准计划《真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TS 20177:2018。

采标中文名称:真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序。

真空室内壁及真空室内组件的放气限制了真空系统可达到的最低压力及真空系统的清洁度。

对于科研设备（如加速器）、需确保表面清洁的设备（如分子束外延）或者需长时间无泵保持高真空的设备（如发射器或X射线管、医疗仪器、表面分析仪器或者绝热板等），可达到的最低压力通常是很重要的。

真空的清洁度，即不含某种气体或蒸气，或者这种气体或蒸气达到足够低的分压，在许多不同的工业应用中都很重要，如镀膜、超高压光刻、催化、制药或食品工业中的干燥过程，以及加速器、聚变反应器等。

因此，在真空技术中，放气率的测试是一个重要的质量保证程序。

因此规定放气率的测试程序，一方面可使得放气率的测试结果具有可追溯性，另一方面对放气率的测试程序标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的值亦具有了可比性。

目前国内尚无放气率标准可依照，各行业在放气率的测试上方法不一，参考数据各异，无法达到一致性、准确性和可追溯性的效果。

本文件的发布实施可填补国内无规则依据的空白。

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本文件规定了放气率测试的适用范围、术语定义、测试系统、测试程序、测试不确定度及测试报告等相关内容。 文件中所指的放气率在23°C的温度条件下小于10-5 Pa？m3？s-1（10-2 Pa？L？s-1），且由适用于高真空或超高真空应用的设备产生，放气产生的各种气体或蒸气的分子量均低于300u。