国家标准计划《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 天通控股股份有限公司 。

主要起草人 康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。