国家标准计划《电子特气 一氧化氮》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司等 。

本标准规定了一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、存储等要求。 本标准适用于一氧化氮产品，主要用于3D XPoint芯片、3D-NAND Flash相变存储器（PRAM）制程，是一种新型集成电路材料。 表1 一氧化氮技术指标 序号 检测项目 标准 1 一氧化氮纯度（NO），10-2(V/V) ≥99.99 2 氢含量（H2），10-6(V/V) ≤1 3 氧（氩）含量（O2+Ar），10-6(V/V) ≤1 4 氮含量（N2），10-6(V/V) ≤30 5 甲烷含量（CH4），10-6(V/V) ≤1 6 二氧化碳含量（CO2），10-6(V/V) ≤3 7 氧化亚氮含量（N2O），10-6(V/V) ≤60 8 二氧化氮含量（NO2），10-6(V/V) ≤50 9 水含量（H2O），10-6(V/V) ≤3 10 一氧化碳含量（CO），10-6(V/V) ≤1