国家标准项目《电子特气 六氯乙硅烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、西南化工研究设计院有限公司等 。

本标准适用于以多晶硅副产品为原料提纯和化工合成的电子特气六氯乙硅烷。它主要用于半导体行业氧化硅膜、氮氧化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。 本标准规定了电子特气六氯乙硅烷的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 技术要求部分包含对组分和痕量金属杂质的要求，具体指标如下： 试验方法部分包含了六氯乙硅烷组分的气相色谱测试方法和六氯乙硅烷杂质的电感耦合等离子体质谱测试方法；包装部分详细规定了电子特气液体产品的包装要求。