国家标准计划《电子特气 三氯化硼》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司等 。

本标准规定了超高纯三氯化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、存储等要求。 本标准适用于超高纯三氯化硼产品，主要用于IC、OLED、LED工艺技术。 表1三氯化硼技术指标 序号 检测项目 标准 1 三氯化硼（BCl3） /l0-2 ≥99.9995 2 氧含量（O2）/l0-6 ≤0.5 3 氮含量(N2)/l0-6 ≤0.5 4 甲烷(CH4 )/l0-6 ≤0.5 5 一氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.3 6 二氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.2 7 碳酰氯(COCl2)含量/10-6 ≤0.1 8 氯化氢(HCl)含量/10-6 ≤50 9 氯气含量(Cl2)，10-6(V/V) ≤1.0 序号 检测项目 标准 1 钙、铬、铜、铅、镁、锰、镍、硅、锌、锂、钡、锑，10-9（m/m） ≤10 2 铝、钾、钠、砷，10-9（m/m） ≤20 3 铁，10-9（m/m） ≤30