国家标准计划《电子特气 三氯化硼》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司等 。

电子特气—三氯化硼主要用于IC、OLED、LED等半导体技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。

三氯化硼作为集成电路和电子器件用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）和“十三五”科学和技术发展规划。

2018年3月，九大部委联合发布的《新材料标准领航行动计划（2018~2020）》中明确提出应建立和完善硅基半导体材料标准体系，建立超高纯特种电子气体等关键材料系列标准，加速集成电路制造产业国产化。

三氯化硼作为特种电子气体的系列产品，该标准的修订符合《新材料标准领航行动计划（2018~2020）》的要求。

随着集成电路技术进步，技术节点达到7纳米，晶圆制造达到12英寸，对高纯三氯化硼的要求越来越高，2010版标准的技术要求中只规定了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等5种杂质含量，对金属杂质含量的要求未做具体规定。

根据现在的研究成果发现，三氯化硼产品中还含有微量的碳酰氯、氯化氢和氯气杂质，并且也需要规定具体的金属杂质，这些杂质对下游的使用非常关键。

因此2010版的标准已经无法满足行业发展需求，本次修订后的技术要求加上了碳酰氯、氯化氢、氯气和具体的17种金属杂质含量。

2018年9月，工信部网站发布了关于《重点新材料首批次应用示范指导目录（2018版）》的公告。

该公告中将纯度99.999%的高纯三氯化硼列为重点新材料，本次修订后的三氯化硼纯度高于该公告的规定。

通过对标准的修订，可指导高纯三氯化硼形成规模化生产能力，产品满足IC、OLED、LED对特种电子气体的需求，有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。

本标准规定了超高纯三氯化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、存储等要求。 本标准适用于超高纯三氯化硼产品，主要用于IC、OLED、LED工艺技术。 表1三氯化硼技术指标 序号 检测项目 标准 1 三氯化硼（BCl3） /l0-2 ≥99.9995 2 氧含量（O2）/l0-6 ≤0.5 3 氮含量(N2)/l0-6 ≤0.5 4 甲烷(CH4 )/l0-6 ≤0.5 5 一氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.3 6 二氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.2 7 碳酰氯(COCl2)含量/10-6 ≤0.1 8 氯化氢(HCl)含量/10-6 ≤50 9 氯气含量(Cl2)，10-6(V/V) ≤1.0 序号 检测项目 标准 1 钙、铬、铜、铅、镁、锰、镍、硅、锌、锂、钡、锑，10-9（m/m） ≤10 2 铝、钾、钠、砷，10-9（m/m） ≤20 3 铁，10-9（m/m） ≤30