国家标准计划《纳米技术 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院物理研究所 。

离子束辐照技术可使准直的纳米线或平面的纳米薄膜由于应变而在三维空间产生弯曲或折叠，在构建高性能的三维微纳电子器件、光电器件和光学元件等领域具有重要的应用价值。

这一技术明显提高了复杂纳米结构加工的准确性与可控性，减小了三维器件的加工难度，提升了加工效率和器件性能与应用领域。

制备流程的控制直接影响到辐照后得到的三维器件的精度及可重复性。

因此为了高精度、可重复性的利用该技术实现三维器件，需要制定标准的离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法，以利于后续利用该方法制作复杂三维纳米结构和器件。

本标准提供一种利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构的方法。

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范围：本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。 主要技术内容：本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。