国家标准项目《微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京科技大学 。

范围：本标准规定了用透射/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射（CBED）方法。适用于对线度从几纳米至几百微米、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度测定。 主要内容为： CBED技术测量薄晶体厚度的方法概述、适用的材料试样、实验方法与基本步骤、数据的分析计算以及不确定度等，可供广大分析人员参照执行。