国家标准《硅片字母数字标志规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 。

主要起草人 张静 、孙燕 、边永智 、楼春兰 。