国家标准《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。

主要起草人 卓尚军 、钱荣 、董疆丽 、申如香 、盛成 、高捷 、郑文平 。