国家标准《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。

主要起草人 卓尚军 、钱荣 、董疆丽 、申如香 、盛成 、高捷 、郑文平 。