国家标准《太阳电池用电子级氢氟酸》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江阴润玛电子材料股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、英利集团有限公司 。

主要起草人 戈士勇 、何珂 、王周霞 、王香 、史金超 。