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微米级长度的扫描电镜测量方法

Micron grade length measurement by SEM
国家标准 推荐性 废止

国家标准《微米级长度的扫描电镜测量方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海市测试技术研究所 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 16594-1996 废止

微米级长度的扫描电镜测量方法
被以下标准替代

GB/T 16594-2008 （全部代替）

微米级长度的扫描电镜测量方法通则

基础信息

标准号
GB/T 16594-1996
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
废止日期
2009-05-01
标准类别
方法
中国标准分类号
N93
国际标准分类号
17.040.01
17 计量学和测量、物理现象
17.040 长度和角度测量
17.040.01 长度和角度测量综合
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

上海市测试技术研究所

相近标准(计划)

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