国家标准《半导体设施接口技术文件编写导则》 由339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国华晶电子集团公司 。
GB/T 15873-1995 现行
本标准非等效采用其他国际标准：SEMI E6:1992。
采标中文名称:。
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