国家标准《半导体设施接口技术文件编写导则》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。
主要起草单位 中国华晶电子集团公司 。
GB/T 15873-1995 现行
本标准非等效采用其他国际标准:SEMI E6:1992。
采标中文名称:。