国家标准《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC3（全国半导体设备和材料标准化技术委员会封装分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、东海县产品质量监督检验所 、江苏太平洋石英股份有限公司 。

主要起草人 李运强 、薄雷明 、冯亚彬 、管琪 、许振午 、武为民 、周文梅 。