国家标准计划《六氟丁二烯》由 TC206（全国气体标准化技术委员会）归口，TC206SC3（全国气体标准化技术委员会含氟气体分会）执行 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 浙江省化工研究院有限公司 、中化蓝天氟材料有限公司等 。

本项目涉及卤代丁烷脱卤反应或以卤代乙烯、四氟乙烷（R134a）为原料经偶联反应制备的六氟丁二烯产品。

作为基础专用材料，六氟丁二烯可用作特种含氟聚合单体和电子气原料，属于国家发展改革委《产业结构调整指导目录（2011年本）（修正）》中第一类“鼓励类”第十一条“石化化工”第十四款“超净高纯试剂、光刻胶、电子气等新型精细化学品的开发与生产”内容，符合《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》中“专栏2 材料”之“完善钢铁、有色金属、石化、化工等原材料工业标准加快标准制修订工作，充分发挥标准的上下游协同作用，加快传统材料升级换代步伐”的要求。

本项目还符合《中国制造2025》中“专栏3 工业强基工程”和《国家集成电路产业发展推进纲要》中“三 主要任务和发展重点”的内容。

本项目的实施有利于提高专用材料自给保障能力和制备技术水平，能够加强集成电路制造企业和装备、材料企业的协作，增强产业配套能力，与国家大力支持关键基础材料跨领域应用的产业政策精神相符。

同时，臭氧层消耗和全球变暖是当今国际社会所面临的两大全球性环境问题，作为消耗臭氧层物质（简称“ODS”）的替代品，C4F6的ODP为零，GWP值低，更为重要的是六氟丁二烯在大气中的寿命很短(<2 d)，是新一代ODS替代品开发的热点。

因此，本项目还符合国务院印发的《“十三五”控制温室气体排放工作方案》（国发〔2016〕61号）中“采取积极措施，有效控制温室气体排放”的总体要求和指导思想。

六氟丁二烯的实际应用非常广泛。

在引发剂存在下，六氟丁二烯能够聚合得到性能稳定的全氟聚合物，是制备多种新型氟树脂、氟塑料、氟橡胶的重要单体材料。

同时，也是最新型的激光蚀刻气原料。

六氟丁二烯经过纯化后可用于半导体刻蚀工艺，对光阻和氮化硅有更好的选择性，更有利于在刻蚀工艺中控制关键尺寸和优化刻蚀轮廓。

事实上，当蚀刻线宽推进到0.13μm 及以下时尤其是28nm，业界已经基本明确了将六氟丁二烯用作主蚀刻气体刻蚀绝缘体材料的发展方向。

在《中国氟化工行业“十三五”规划》中，C4F6也被列为下一代蚀刻气体的主要候选物。

作为蚀刻气的原料，六氟丁二烯的产品指标对刻蚀性能至关重要，需在生产工艺中予以控制。

因此，制定符合我国实际情况且具有国际先进标准水平的六氟丁二烯产品标准非常有意义。

本项目的制定可以有效地组织生产、确保产品质量，增强我国六氟丁二烯的国际市场竞争能力。

对填补国内外六氟丁二烯产品标准的空白、完善我国ODS替代品标准体系的建设、促进我国ODS替代品产业和相关产业可持续发展均具有重大的意义。

同时，该项目的实施还能积极推动我国臭氧层保护和减少全球变暖方面的工作开展，也是我国积极履行国际公约、实践大国责任的重要表现，社会效益重大。

1.范围 本项目适用于经卤代丁烷脱卤反应或以卤代乙烯、四氟乙烷（R134a）为原料经偶联反应制备的六氟丁二烯产品。主要用作制备新型氟聚合物的单体、电子工业中等离子蚀刻工艺的蚀刻气体原料。 2.主要技术内容 1）规定六氟丁二烯的技术要求，如：外观、含量、水分、酸度、不凝性气体等； 2）规定分析方法，如产品及其杂质定性、定量研究，有毒有害杂质的限量控制； 3）规定采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全等方面的要求。