国家标准计划《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新特能源股份有限公司 、新疆晶硕新材料有限公司 。

本标准适用于氮化硅粉中氟离子和氯离子的测定。 本标准采用高温水解样品，碱液吸收制样，待测元素与基体完全分离，以离子形式存在于试液中，采用离子色谱法测定氮化硅中氟离子和氯离子。 在本标准中针对溶样方法和测定条件进行实验，优化检测条件以保证检测结果的准确性。 本标准为测定氮化硅陶瓷材料中微量氟和氯提供了一种的方法。该方法线性范围宽、操作简单快速、灵敏度高、干扰少，可同时测定F－、Cl－。