国家标准项目《深紫外LED用AlGaN外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。

深紫外LED用AlGaN外延片的产品标准主要涉及UVB LED和UVC LED等产品，对AlGaN外延片的规格，材料质量进行规范，有利于产品大规模生产，占领国内外市场。主要指标包括：产品尺寸、翘曲度、弯曲度、缺陷等外观参数，材料结晶质量、位错密度等内在参数，以及包装等环境要求。