国家标准项目《碳化硅单晶》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 。

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。技术要求主要包括：直径、电阻率、晶向、参考面取向、晶体完整性、杂质含量等。 本标准适用于物理气相传输法制备的4H 及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。