国家标准项目《刻蚀机用硅电极及硅环》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 。

产品适用范围： 本标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环（简称硅部件）的术语和定义，产品分类，要求，取样，试验方法，检验规则。 本标准适用于直拉法制备的P<100>轻掺直径为（280~376）mm的圆柱形单晶，经加工成刻蚀机用硅电极及硅环，产品用于8～12英寸等离子刻蚀机上。主要指标包括型号、晶向、电阻率氧碳含量、缺陷及直径厚度，微孔位置直径、粗糙度及金属含量指标等等。