国家标准计划《磷化镓单晶》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 。

磷化镓单晶材料是重要的化合物半导体材料，其作为衬底材料在发光二极管（LED）行业有着广泛的应用。

磷化镓单晶的结构均匀性、几何尺寸、位错密度等性能参数对后续的外延工艺和器件性能有着重要的影响。

本次修订主要对磷化镓单晶的几何尺寸、位错密度、表面质量等内容进行修订，同时增加掺锌的P型磷化镓单晶的要求。

修订后的标准对目前各类型磷化镓单晶及单晶片的几何尺寸、性能指标、表面质量进行了更加详细、科学的规定，可作为磷化镓单晶研制单位的研制生产依据、使用单位的选用和采购依据、检验机构的检验和试验依据，促进磷化镓单晶的推广应用。

。

本标准规定了非掺杂、掺S、掺Te的N型及掺Zn的P型磷化镓单晶锭及单晶片的牌号、要求（导电类型、几何参数、电学参数、晶向、表面质量等）、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于高压液封直拉法（HP-LEC）制备的磷化镓单晶材料。 主要修订内容如下： 1、增加掺锌的P型磷化镓单晶及其要求； 2、细化各类型磷化镓单晶的位错密度指标要求； 3、细化单晶片表面质量要求； 4、提高单晶片几何尺寸精度要求。