国家标准项目《微纳米（线间隔）标准样板》由 TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、上海计量测试技术研究院 、国家量具质量监督检验中心 、中国计量科学研究院 。

本标准规定了微纳米(线间隔)标准样板的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、试验方法、检查条件、检查方法、标志与包装等。 本标准适用于周期尺寸为50nm～10μm的微纳米(线间隔)标准样板。

JSJL2016210B012 微纳尺寸线距标准样片的研制与定标技术研究