国家标准项目《靶材与背板结合强度测试方法》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 有研亿金新材料有限公司 。
| 19 试验 |
| 19.060 机械试验 |
Al、Cu、Ti、Ta、W、Mo、Cr及其合金等与背板复合型靶材,型号包括SIP、IMP、Tango、AVIZA、SPTS等;
本申请标准为制定项目,适用于需与背板结合的复合型靶材,应用领域包括集成电路、磁记录、平面显示、太阳能电池等微电子镀膜行业。本标准的技术内容包括:专业术语、靶材与背板的结合种类、结合强度的分类(抗拉强度、剪切强度)、结合强度的试验方法、结合强度的试验条件、样品的取样及尺寸规格等。
2017YFF0208500-新材料领域先进功能材料关键技术标准研究