国家标准计划《靶材技术成熟度等级划分及定义》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 有研亿金新材料有限公司 。
| 77 冶金 |
| 77.150 有色金属产品 |
| 77.150.01 有色金属产品综合 |
集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础,其技术和产业水平和是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。
近年来,随着我国电子信息产业飞速发展,电子元器件、集成电路制造、TFT-LCD平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生产线均有大量高技术企业出现;高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。
溅射靶材市场规模日益扩大,已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业,我国成为了世界上高纯溅射靶材的最大需求地区之一,这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。
我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展,在《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《中国制造2025》和《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将“高纯金属及合金等新材料”,作为重点领域急需突破的材料。
但迄今为止,中国在电子元器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究,各类靶材产品的质量参差不齐,靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准,严重制约了国内外靶材用户对靶材制造商的产品实力,技术成熟度的评判。
技术成熟度反映的是技术对于项目预期目标的满足程度。
技术成熟度评价是为了适应新技术发展而产生的一项管理工具,是基于技术发展成熟的客观规律,对其成熟程度进行量化评价的一套系统化标准、方法和程序。
“建立新材料技术成熟度评价体系,制定新材料技术成熟度通用分级标准,完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部四部委联发的《关于加快新材料产业创新发展的指导意见》和《新材料产业发展规划(2016-2020年)》中明确提出的重点任务。
本标准的研究内容同时属于国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项》立项的《超高纯系列溅射靶材开发与产业化》项目的相关内容。
通过建立靶材技术成熟度评价行业层面的统一标准,希望达到以下目的:可以依据标准提出的技术成熟度量化分级标准,有利于指导社会投资,提高投资效率;依据此标准,可以使企业院所在自行开展或申请科研建设投资的时候,判断其技术所处的总体水平,进一步明确投资方向;在此基础上对全国靶材制造行业技术发展状况进行全面科学量化的评价,为国家相关部委提供决策与规划参考,规范和引导我国靶材制造产业的健康发展和优化布局。
通过该项目的实施,建立靶材技术成熟度分级的明确标准,对进一步推动靶材技术领域的标准化、系列化、通用化具有重要意义。
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项目研究的预期目标是建立靶材技术成熟度分级标准,界定开展技术成熟度评价工作所需的等级条件、评价要素、考核指标等。主要研究范围及内容:(1)确定技术成熟度等级及定义;(2)调研收集国内外技术成熟度相关资料,开展相关定义研究;(3)细化技术成熟度评价要素、量化考核指标;(4)行业内研讨,修改完善评价要素及指标;(5)征求行业单位和专家意见,选取典型单位开展现场验证;(6)形成《靶材技术成熟度等级划分及定义》。
2017YFF0208500-新材料领域先进功能材料关键技术标准研究