国家标准项目《集成电路晶圆可靠性评价要求》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第五十五研究所 。
| 31 电子学 |
| 31.200 集成电路、微电子学 |
提供集成电路晶圆工艺可靠性评价的测试和数据分析方法。分为两级，一级是纯粹的工艺评价，通过特殊设计的测试结构的可靠性测试定位工艺失效机理；二级是通过测试相关功能的工艺可靠性载体(TCV)来验证晶圆上芯片的可靠性。
2017YFF0208200 国家质量基础的共性技术研究与应用
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