国家标准项目《集成电路制造设备术语》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 。

本标准规定了集成电路制造设备的术语和定义，包括材料生长加工设备、晶圆制程工艺设备、封装设备、检测仪器、辅助设施及其关键部件、功能和性能参数的术语和定义。 本标准适用于半导体集成电路制造设备的设计、研发、生产、使用、检验、教学及技术交流等。