注册

国家标准计划《纳米尺度的科研、生产受控环境 规划与设计》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 江苏苏净科技有限公司中国电子工程设计院等

目录

基础信息

计划号
20152019-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2015-08-18
申报日期
2014-12-27
公示开始日期
2015-06-05
公示截止日期
2015-06-20
标准类别
方法
国际标准分类号
35.040
35 信息技术、办公机械
35.040 字符集和信息编码
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

目的意义

纳米科技是高度交叉的综合学科,不仅包含以观测、分析和研究为主线的基础学科,同时包含以纳米工程和加工学为主线的技术科学。

纳米尺度科研生产受控环境是纳米科技应用中不可缺少的保障设施,需要同时具备极高的技术性能:高洁净度、高精度温度和相对湿度参数、低噪声、微振控制、静电控制、电磁屏蔽……等。

本标准旨在设施建造的规划设计阶段给予技术提示,最大程度地减少失误。

范围和主要技术内容

本标准适用于航空航天、微电子、光学、纳米生命科学、纳米器件、纳米加工、纳米测量等需要纳米尺度受控环境的高精尖端技术生产、研究的受控环境设施的新建、扩建、改建。该标准给出了纳米受控环境设施规划、设计阶段应考虑的问题,提出了防微震、噪音、电磁辐射限值