国家标准计划《硅中氯离子含量的测定 离子色谱法 》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司 。

本标准规定了多晶硅中氯离子含量的测定方法。本标准适用于测定不同的棒状、块状、颗粒状或片状的多晶硅中氯离子的含量。除颗粒硅外，多晶硅都需进行粉碎，颗粒大小范围在200μm-3000 μm。硅粉、硅片中氯离子的测定可参照执行。 样品在50% 的NaOH溶液中消解使其中氯离子析出，消解完毕后，使用蒸馏过的高纯硝酸进行pH调节到中性，生成偏硅酸钠胶状沉淀，将此溶液离心过滤后作为离子色谱仪的检测样品，测定其氯离子含量。本标准氯离子的检测范围大于0.05ppma。本标准中规定的测试方法成熟，可有效测试多晶硅甚至硅粉、硅片中的氯离子。