国家标准计划《真空技术 氦质谱真空检漏方法》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 。

真空设备及其它密封产品的密封性能是标志产品质量优劣的一项重要指标，在众多高灵敏度的密封性能测试方法中，氦质谱真空检漏技术是使用最多的一种检漏方法，而检漏方法实施的正确与否将直接影响检漏结果的准确性。

目前，在应用此方法的过程中，虽主要过程大致相同，但操作过程中的不同细节对测量结果却有着很大的影响。

本标准制定的目的在于规范各种应用氦质谱真空检漏方法进行产品密封性能测试的操作过程，各单位在进行密封性能测试过程中可以采用统一的标准开展检漏测试，在全国范围内实现氦质谱真空检漏结果的可对比操作。

通过本标准的制定，可以提高我国真空设备及其它密封产品质量水平，增强我国产品的整体技术实力及市场竞争力。

本标准规定了氦质谱真空检漏方法的应用范围、规范性依据文件、术语和定义、一般要求、详细要求、检漏文件等方面的内容，其中涉及到喷吹法、氦罩法、压力真空法三种具体实施方法，对于每种方法均规定了应用对象、系统组成、检漏程序等内容。