国家标准项目《磷化铟多晶》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南京金美镓业有限公司 。
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
本标准主要适用于制备磷化铟单晶用的磷化铟多晶。 本标准主要规定磷化铟多晶的分类与标记、原料要求、载流子浓度及外观等技术参数要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。主要参数为载流子浓度(c.c.),一级产品载流子浓度不大于6.0E15个/cm3,二级产品载流子深度不大于3.0E16个/cm3。外观要求深灰色、固态、致密无富铟、无富磷。 南京金美镓公司从2003年成立了磷化铟小组,进行磷化铟多晶的研发。从设备到工艺参数进行多次调试,最终生产出磷化铟产品,但那时载流子浓度大多超过3.0E16, 并且多晶锭的两头会富铟富磷,有的也有裂纹。经过近两年的努力,通过改变工艺参数及操作细则,凭研发人员丰富的理论知识和实际操作经验,生产出了载流子浓度达到要求的磷化铟多晶锭,产品几乎全部达到要求。并且外观也无富铟富磷现象,非常致密。目前该产品合格率百分之百。产品发给顾客使用后,顾客满意,没有发生过退货现象。