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国家标准计划《洁净机器人 通用技术条件》由 TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 沈阳新松机器人自动化股份有限公司

目录

基础信息

计划号
20170047-T-604
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2017-05-04
申报日期
2016-11-28
公示开始日期
2016-12-28
公示截止日期
2017-01-06
标准类别
产品
国际标准分类号
25.040.40
25 机械制造
25.040 工业自动化系统
25.040.40 工业过程的测量和控制
归口单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

目的意义

洁净机器人是在洁净环境下代替人进行产品生产。

洁净机器人代替人工操作对提高洁净度将发挥很大的作用。

以洁净机器人在半导体工业中的应用为例,机器人在洁净室中要完成的操作主要是硅片的搬运和精密机械装配。

在超大规模集成电路的生产中,控制污染的关键环节是硅片的搬运,切割好的硅片,经过预处理,在成为产品前大约要搬运40余次,用机器人搬运硅片,要比人工搬运清洁4倍。

洁净机器人广泛应用于生产加工需要洁净环境的新兴行业,如半导体、电子、医药、平板显示、太阳能等,完成物料(晶圆、平板等)的自动搬运,实现整个生产加工过程中物料传输的自动化,大大减少由于人工搬运造成污染,同时提高生产效率。

通过对洁净机器人通用技术条件的深入研究,可以填补我国洁净机器人通用技术条件的空白,对提升洁净机器人的技术水平有深远的意义。

范围和主要技术内容

该标准旨在规定洁净机器人的技术要求、试验方法和检验规则等。具体内容包括:范围、规范性引用文件、结构、性能、洁净机器人技术要求(一般要求、外观和结构、功能、电动系统、安全、连续运行、噪声、电源适应能力、电磁兼容性、环境条件和可靠性等)、试验方法(试验条件、外观和结构检查、功能检查、性能测试、安全试验、连续运行试验、噪声测试、电源适应能力试验、电磁敏感度试验、耐振动试验、耐运输性试验和可靠性试验等)、检验规则、检验项目、标志包装运输和贮存等。