国家标准计划《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有研半导体材料有限公司 。

本标准适用于半导体级硅单晶片和太阳能电池用硅单晶片、硅多晶片以及硅外延片等硅片表面金属元素含量的测定。硅片尺寸为2 Inch~12 Inch，检出限为108 atoms/cm2。 本标准规定了制样方法、检测仪器、检测方法设定规则以及测试环境、操作步骤、精密度等。