国家标准计划《半导体材料术语》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 。

GB/T 14264-2009《半导体材料术语》是半导体行业的基础性标准，也是纲领性文件。

修订前的标准颁布于2009年，但实际上该版标准的修订工作在2006年完成。

这几年来随着太阳能电池的飞速发展，太阳能电池单晶、铸锭以及切片技术都有了长足的进步；碳化硅、蓝宝石等也是近年来快速发展的材料，在2009年颁布的术语标准中这方面的内容很少；同时，像多晶、用于IC的大直径硅片等也有了技术上的很大进步，这几方面都有新的术语出现。

因此该版术语标准已经远远落后于我国当前的半导体行业现状，更无法对现在飞速发展的半导体行业起到指导性的作用。

由于术语是引导半导体行业的纲领性文件，对供需双方在技术内容、检测指标上统一专业是非常必要的，也将大大有利于企业之间的沟通和交流。

目前由于某些术语的缺失，各家自行命名质量项目指标，造成沟通和交流上不必要的障碍。

甚至在做产品标准和方法标准的时候也有这方面的问题出现。

因此急需修订该标准，同时借助本次术语标准的修订，统一认识和通用术语的名称。

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本标准适用范围由元素和化合物半导体变为：锗、硅及硅基材料、化合物半导体，包括蓝宝石、碳化硅等广泛应用于半导体领域的半导体材料。 主要增加太阳能电池用晶体、晶片，蓝宝石、碳化硅等方面的术语； 对多晶、硅片、外延片相关术语的补充； 对几年来技术进步发展的新术语进行补充和统一。