国家标准项目《半导体材料术语》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 。

本标准适用范围由元素和化合物半导体变为：锗、硅及硅基材料、化合物半导体，包括蓝宝石、碳化硅等广泛应用于半导体领域的半导体材料。 主要增加太阳能电池用晶体、晶片，蓝宝石、碳化硅等方面的术语； 对多晶、硅片、外延片相关术语的补充； 对几年来技术进步发展的新术语进行补充和统一。