国家标准项目《用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜（SEM）参数描述及术语规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中国电子技术标准化研究院 。

该本标准适用于说明用于测量关键尺寸的扫描电子显微镜参数描述中所涉及的术语，也适用于评估和购买用于测量关键尺寸的扫描电子显微镜时所涉及的术语。该标准的主要技术内容是：引用标准、扫描电子显微镜时所涉及的术语、扫描电子显微镜参数菜单列出项、扫描电子显微镜参数菜单列出项指南和注意事项等。 本项目提案在标委会微光刻工作组2000年提出，随着国内半导体产业发展，企业技术的进步，2012年和2013年年会上进行了草案的讨论和修改，并由中国科学院微电子研究所等科研院所的参与编制，并分工进行完善。