国家标准计划《精密金属掩膜版用电解清洗液》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 昆山国显光电有限公司 、福建省佑达环保材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、江苏汇显显示技术有限公司 。
20264561-T-469 正在起草