国家标准项目《电子气体 氪氖混合气体》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 杭州新世纪混合气体有限公司 、大连大特气体股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、广东华特气体股份有限公司 、河北邯钢特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。
| 31 电子学 |
| 31.030 电子技术专用材料 |
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
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| 1 | EN | 大连大特气体股份有限公司 | 氪氖混合气体主要应用于光刻机,每年需求量上百吨。近年来,随着大规模集成电路技术的进步,市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此背景下,为提升电子气体科技水平发展,现申请立项制定《电子气体 氪氖混合气体》国家标准英文版。 |
本文件规定了氪氖混合气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了制备、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以电子惰性稀有气体为原料制备的氪氖混合气体。