国家标准项目《电子工业用四氯化硅》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 安徽湛为气体有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、湖北晶星科技股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体股份有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、联雄投资(上海)有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

本文件规定了四氯化硅的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相关的试验方法，提供了四氯化硅的安全信息。 本标准适用于电子工业用四氯化硅。 本次修订的主要技术内容有： ——更改了范围（见第1章，2020年版的第1章）； ——更改了四氯化硅应符合的技术要求（见第4章，2020年版的第3章）； ——更改了采样的要求（见第5章，2020年版的4.2）； ——更改了纯度计算方法（见6.1，2020年版的5.1）； ——更改了三氯氢硅、二氯硅烷、甲基二氯硅烷含量的测定方法（见6.2，2020年版的5.2）； ——增加了氯化氢含量的测定方法（见6.2）； ——增加了甲基三氯硅烷、三甲基一氯硅烷含量的测定方法（见6.3）； ——更改了金属元素及其他元素含量的测定方法（见6.4，2020年版的5.3）； ——增加了水分含量的测定方法（见6.5）； ——增加了其他碳氢化合物含量的测定方法（见6.6）； ——更改了检验规则（见第7章，2020年版的4.1）； ——更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见8.1、8.2,2020年版的6.1、6.2）； ——更改了安全信息的要求（见8.3,2020年版的6.3）。