国家标准项目《微电子机械器件 基于应力放大结构的MEMS器件残余应力测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所 。

本标准规定了MEMS器件的残余应力的测试及试验技术要求、试验程序和检验规则等，重点明确了片上应力放大测试结构、测试方法以及数据处理等内容，以评价相关器件结构在工艺加工及封装过程所形成的残余应力的大小，适用于对不同的MEMS结构、材料及工艺所产生的残余应力的测试及评价。主要技术内容包括： （1）范围；（2）规范性引用文件；（3）术语和定义；（4）测试要求（测试结构，测试设备，数据采集装置）；（5）测试程序（测试准备，测试条件，测试程序）；（6）测试报告。