国家标准项目《工业过程用纳米级特征尺寸测量仪校准方法》由 TC124（全国工业过程测量控制和自动化标准化技术委员会）归口，TC124SC7（全国工业过程测量控制和自动化标准化技术委员会工业在线校准方法分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院有限公司 、安徽省计量科学研究院 、中国测试技术研究院 。

工业过程用纳米级特征尺寸测量仪器：工业型CD-SEM、工业型CD-AFM、工业型光学纳米特征尺寸测量系统等。

本文件适用于工业过程配套使用的纳米级特征尺寸测量仪器，主要包括工业过程中各类精密制造工艺流程配套使用的工业型特征尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）、工业型特征尺寸原子力显微镜（CD-AFM）、工业型光学纳米特征尺寸测量系统等。 本文件规定工业过程用纳米级特征尺寸测量仪的核心术语和定义、校准环境、校准设备、校准项目与校准方法、测量结果处理与不确定度评定、附录等。 主要技术内容包括： 1）术语和定义：界定工业过程用纳米级特征尺寸测量仪、线宽、线宽标准样板等核心术语。 2）校准环境：区分实验室基准校准环境、工业车间常规洁净校准环境，明确洁净度、温湿度、振动、气流、粉尘污染控制限值。 3）校准设备：规定纳米尺寸线宽标准样板技术要求，明确样板扩展不确定度；规定辅助校准装置包括温湿度记录仪、振动监测仪技术要求。 4）校准项目与校准方法： X、Y轴位移测量误差：选取20 nm、50 nm、100 nm、200 nm特征尺寸点，X、Y轴分别重复测量10次，取均值与标准样板标称值比对计算误差； 批量测量重复性：选取20 nm标准样板同一区域连续重复测量10次，采用贝塞尔公式计算标准偏差作为重复性指标； 长期连续运行尺寸漂移：模拟工业过程72h不间断批量测量工况，定时采集示值，计算漂移量； 工业过程温振工况尺寸偏移：模拟工业过程温度波动、机械振动条件开展比对测试，量化工况带来测量偏差。 5）测量结果处理与不确定度评定。 6）附录：工业过程用校准记录格式、工业过程用纳米级特征尺寸测量仪测量不确定度评定示例（资料性）。