国家标准计划《电子束曝光机技术要求和试验方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥国家实验室 、深圳国际量子研究院 、北京大学 、中国科学院微电子研究所 、深圳市鲲腾易必目科技有限责任公司 、北京金竟科技有限责任公司 。