国家标准计划《电子束曝光机技术要求和试验方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥国家实验室 、深圳国际量子研究院 、北京大学 、复旦大学 、中国科学院微电子研究所 、北京金竟科技有限责任公司 、深圳市龙图光罩股份有限公司 。

主要起草人 张振生 、朱瑞 、宋学锋 、徐军 、高鹏 、陈宜方 、韦亚一 、王巧鸣 、陆四荣 、何超 、叶小龙 、俞大鹏 。