国家标准项目《高速双频激光干涉仪的轴卡延迟特性测试》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、深圳领聚科技有限公司 、中国电子科技集团公司第四十五研究所 。

标准涉及的高速双频激光干涉仪轴卡产品，主要型号有： 1)中国深圳领聚科技有限公司，H5005、H2504系列 2)中国上海拍频光电科技有限公司，FLAB0410 3)美国Keysight公司，N1225A、E1708/1709+10897/10898 4)美国Zygo公司，ZMI4100系列、ZMI5020系列

范围：本文件描述了用调制光法测试高速双频激光干涉仪轴卡延迟特性的测试原理、测试条件及要求、测试参数及测试方法。本文件适用于最大测量速度不小于300mm/s、测量数据更新率不低于10kHz的高速双频激光干涉仪的轴卡延迟特性测试。 主要技术内容：按照《GB/T 1.1-2020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的要求，制定《高速双频激光干涉仪的轴卡延迟特性测试 调制光法》，在内容和格式上与文件要求保持一致。《高速双频激光干涉仪的轴卡延迟特性测试 调制光法》的主要内容包括：封面、目次、前沿、引言、范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试条件及要求、测试仪器、测试方法(含测试装置、测试步骤、数据处理)、测试报告、附录(测试报告记录表)和参考文献。

《λ/1024双频激光干涉仪研发及系列产品产业化》（国家02专项子任务） 《掩模版滑移抑制与实时测量技术研究》（国家02专项子任务） 《面向光刻机的高速超精密动态校准技术研究与应用》（国家重点研发计划NQI专项） 《微探头传感器式激光干涉仪》（国家重点研发计划仪器专项） 《皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试》（国家自然科学基金国际合作项目，重点类项目）