国家标准项目《双频激光器偏振特性参数测试方法 拍频幅度极值法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 哈尔滨工业大学 、上海频准激光科技股份有限公司 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、成都科丰芯缘科技有限公司 、深圳领聚科技有限公司 、上海拍频光电科技有限公司 。
| 31 电子学 |
| 31.260 光电子学、激光设备 |
标准涉及的双频激光器产品，主要型号有： 1)中国深圳领聚科技有限公司，LX系列； 2)中国上海拍频光电科技有限公司，SLH和ALH系列； 3)美国Keysight公司，Keysight 5517系列和N121X系列； 4)美国Zygo公司，ZMI 77XX系列。
范围：本文件描述了用光学拍幅度极值法测试高速双频激光干涉仪核心部件——双频激光器偏振特性参数的测试原理、测试条件、测试仪器、测试方法和测试报告要求。本文件适用于在高速双频激光干涉仪中使用的双频激光器偏振特性参数测试。 主要技术内容：按照《GB/T 1.1-2020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和《GB/T 20001 标准编写规则 系列》的要求制定《双频激光器偏振特性参数测试方法 光学拍幅度极值法》，在内容和格式上与此两文件保持一致。《双频激光器偏振特性参数测试方法 光学拍幅度极值法》的主要内容包括：封面、目录、前沿、引言、范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试条件、测试仪器、测试方法（含测试装置、测试步骤、数据处理）、测试报告要求、附录(测试报告记录表)和参考文献。
《λ/1024双频激光干涉仪研发及系列产品产业化》（国家02专项子任务） 《掩模版滑移抑制与实时测量技术研究》（国家02专项子任务） 《面向光刻机的高速超精密动态校准技术研究与应用》（国家重点研发计划NQI专项） 《微探头传感器式激光干涉仪》（国家重点研发计划仪器专项） 《皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试》（国家自然科学基金国际合作项目，重点类项目）
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