国家标准项目《高速双频激光干涉仪动态特性测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、深圳领聚科技有限公司 、上海拍频光电科技有限公司 。

本标准涉及的主要产品包括微电子装备领域、精密仪器领域、计量测试领域内使用的高速双频激光干涉仪、超精密位移测量系统及相关动态测试与校准设备；涉及的过程与服务覆盖研发、生产、检测、计量、验收全链条。具体目录如下： （1）美国Zygo公司：ZMI 系列（ZMI 2001、ZMI 1000）； （2）Keysight公司： 5528，5529系列； （3）德国 SIOS公司：SP 5000系列； （4）德国 JENAer公司：ZLM700，ZLM800，ZLM900等高速双频系列； （5）深圳领聚科技有限公司：HIS系列，MDI系列，UPI系列； （6）上海拍频光电科技有限公司：SLH152x系列，ALH系列； （7）北京镭测科技有限公司：LH1000系列，LH2000系列，LH3000系列。 共有16个品类，30多种型号高速双频激光干涉仪。

按照《GB/T 1.1-2020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和《GB/T 20001 标准编写规则 系列》的要求制定《高速双频激光干涉仪动态特性测试方法》，在内容和格式上与此两文件保持一致。 1. 标准范围 本标准将明确规定适用于高速双频激光干涉仪的动态特性测试方法。标准所规定的动态测试方法，旨在准确测定干涉仪在高速运动、加减速、往复运动等典型工况下的动态性能指标，为干涉仪的研发设计、工艺优化、出厂检验、型式评价、计量校准及下游装备选型验收提供统一且可靠的技术依据。本标准适用于最大测量速度不低于300mm/s, 测量数据更新率≥10kHz的高速双频激光干涉仪的动态特性测试。 2.主要技术内容 《高速双频激光干涉仪动态特性测试方法》的主要内容包括：封面、目次、前言、引言、范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试条件及要求、测试仪器、测试方法(含测试装置、测试步骤、数据处理)、测试报告、附录(测试报告记录表)和参考文献。通过上述技术内容，本标准将实现动态特性测试方法统一、装置统一、流程统一、计算统一、评定统一，全面满足产业对高速双频激光干涉仪动态性能科学评价、精准管控、高效协同的迫切需求。

《λ/1024双频激光干涉仪研发及系列产品产业化》（国家02专项子任务）、《掩模版滑移抑制与实时测量技术研究》（国家02专项子任务）、《面向光刻机的高速超精密动态校准技术研究与应用》（国家重点研发计划NQI专项）、《微探头传感器式激光干涉仪》（国家重点研发计划仪器专项）、《皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试》（国家自然科学基金国际合作项目，重点类项目）